[發明專利]微機械結構及其制造方法有效
| 申請號： | 201610326879.8 | 申請日： | 2016-05-17 |
| 公開（公告）號： | CN106185781B | 公開（公告）日： | 2019-10-25 |
| 發明（設計）人： | U·施密德;G·德尼弗爾;T·弗里施穆斯;T·格里勒;U·赫德尼格;P·伊爾西格勒;M·卡恩;D·莫勒;M·施奈德 | 申請（專利權）人： | 英飛凌科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00;B81C1/00;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 王茂華 |
| 地址： | 德國諾伊*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 結構 及其 制造 方法 | ||
【說明書】：
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