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[發明專利]具有集成式固態薄膜Pt參比電極的GaN生物傳感器及制作方法有效

專利信息
申請號: 201610326546.5 申請日: 2016-05-17
公開(公告)號: CN106018527B 公開(公告)日: 2019-01-08
發明(設計)人: 張鵬;張晨陽;謝涌;馬曉華;施建章;郝躍 申請(專利權)人: 西安電子科技大學
主分類號: G01N27/414 分類號: G01N27/414
代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200 代理人: 陸萬壽
地址: 710065 陜*** 國省代碼: 陜西;61
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摘要:
搜索關鍵詞: 具有 集成 固態 薄膜 pt 參比電極 gan 生物 傳感器 制作方法
【權利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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