[發(fā)明專(zhuān)利]一種TEM樣品的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610326226.X | 申請(qǐng)日： | 2016-05-17 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105806679A | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-07-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳強(qiáng);陳勝 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01N1/28 | 分類(lèi)號(hào)： | G01N1/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 tem 樣品 制備 方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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