[發明專利]自動控制的微下拉晶體生長裝置和自動控制方法在審
| 申請號： | 201610326024.5 | 申請日： | 2016-05-17 |
| 公開（公告）號： | CN105839176A | 公開（公告）日： | 2016-08-10 |
| 發明（設計）人： | 王亞琦;張連翰;杭寅;蔡雙 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | C30B15/08 | 分類號： | C30B15/08;C30B15/28;C30B29/62;C30B29/30 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 張澤純;張寧展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 自動控制 下拉 晶體生長 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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