[發明專利]利用改良成像氣體的電子束顯微鏡及使用方法有效
| 申請號： | 201610324843.6 | 申請日： | 2016-05-17 |
| 公開（公告）號： | CN106169406B | 公開（公告）日： | 2019-06-04 |
| 發明（設計）人： | T.尚利;J.斯科特;M.托思 | 申請（專利權）人： | FEI公司 |
| 主分類號： | H01J37/244 | 分類號： | H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 趙勝寶;徐厚才 |
| 地址： | 美國俄*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 改良 成像 氣體 電子束 顯微鏡 使用方法 | ||
【說明書】：
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