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[發明專利]用于為臭氧生產單元提供能量的緊湊的、可配置電源有效

專利信息
申請號: 201610320044.1 申請日: 2013-03-19
公開(公告)號: CN105978358B 公開(公告)日: 2019-04-09
發明(設計)人: 肯·特蘭;田豐;陳星;李國華 申請(專利權)人: MKS儀器股份有限公司
主分類號: H02M5/458 分類號: H02M5/458;H02H9/02;C01B13/11
代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204 代理人: 王達佐;王艷春
地址: 美國馬*** 國省代碼: 美國;US
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 臭氧 生產 單元 提供 能量 緊湊 配置 電源
【權利要求書】:
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