[發明專利]掩膜集成框架及蒸鍍設備有效
| 申請號： | 201610320002.8 | 申請日： | 2016-05-13 |
| 公開（公告）號： | CN105887010B | 公開（公告）日： | 2018-10-26 |
| 發明（設計）人： | 嵇鳳麗;白珊珊;梁逸南 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王偉鋒;劉鐵生 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 集成 框架 設備 | ||
【說明書】：
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