[發明專利]耐腐蝕高反光的正面鏡及其制備方法有效
| 申請號： | 201610319920.9 | 申請日： | 2016-05-13 |
| 公開（公告）號： | CN105954824B | 公開（公告）日： | 2017-11-07 |
| 發明（設計）人： | 黃峰;孟凡平;李朋;徐相英 | 申請（專利權）人： | 中國科學院寧波材料技術與工程研究所 |
| 主分類號： | G02B1/14 | 分類號： | G02B1/14;G02B5/08;C03C17/09;C03C15/02 |
| 代理公司： | 杭州天勤知識產權代理有限公司33224 | 代理人： | 劉誠午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 腐蝕 反光 正面 及其 制備 方法 | ||
1.一種耐腐蝕高反光的正面鏡，包括玻璃基體與沉積在玻璃基底上的反光涂層，其特征在于，所述反光涂層的成分組成為(Ti100-xMex)yB100-y，其中，0≤x≤25，50≤y≤80，Me包括Mo或Al；
所述反光涂層為非晶結構，涂層致密，密度為4.5g/cm3～5.1g/cm3。
2.根據權利要求1所述的耐腐蝕高反光的正面鏡，其特征在于，所述反光涂層的厚度為300～1500nm。
3.根據權利要求2所述的耐腐蝕高反光的正面鏡，其特征在于，所述反光涂層的表面為鏡面，無針孔或微小顆粒存在，表面粗糙度Ra≤10nm。
4.根據權利要求3所述的耐腐蝕高反光的正面鏡，其特征在于，所述反光涂層的電阻率為3×10-4～5×10-2Ω.cm。
5.根據權利要求1所述的耐腐蝕高反光的正面鏡，其特征在于，所述玻璃基體形狀為平面板狀或曲面狀。
6.一種根據權利要求1～5任一權利要求所述的耐腐蝕高反光的正面鏡的制備方法，其特征在于，采用磁控濺射法沉積反光涂層，具體為：
(1)玻璃基體清洗；
(2)連接電源，將靶材與中頻脈沖電源和/或射頻電源相連；
(3)沉積反光涂層，當腔室真空度小于2×10-5Pa，沖入Ar氣并調節濺射氣壓為0.2～0.7Pa，調整靶材的功率密度8.5W/cm2～20W/cm2，對樣品臺進行加熱和/或施加脈沖負偏壓，開啟樣品擋板，對玻璃基體主表面進行沉積，得到所述的耐腐蝕高反光的正面鏡。
7.根據權利要求6所述的耐腐蝕高反光的正面鏡的制備方法，其特征在于，步驟(3)中，將樣品臺加熱至30～300℃。
8.根據權利要求6所述的耐腐蝕高反光的正面鏡的制備方法，其特征在于，步驟(3)中，施加-10～-30V的脈沖負偏壓。
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