[發(fā)明專利]一種位移測(cè)量校正裝置和方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610317866.4 | 申請(qǐng)日： | 2016-05-13 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105865348A | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-08-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 高金磊;宗明成 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/02 | 分類號(hào)： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 11302 | 代理人： | 房德權(quán) |
| 地址： | 100029 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 位移 測(cè)量 校正 裝置 方法 | ||
【說(shuō)明書】：
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