[發明專利]基板的制備方法有效
| 申請號： | 201610317737.5 | 申請日： | 2016-05-13 |
| 公開（公告）號： | CN106141918B | 公開（公告）日： | 2020-03-27 |
| 發明（設計）人： | 松井晴信;原田大實;竹內正樹 | 申請（專利權）人： | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號： | B24B49/16 | 分類號： | B24B49/16;B24B37/10;B24B37/34;B24B55/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 何楊 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 方法 | ||
【說明書】：
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