[發(fā)明專利]分瞳式移相干涉共焦微位移測(cè)量裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610317208.5 | 申請(qǐng)日： | 2016-05-12 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105865339B | 公開（公告）日： | 2018-06-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃向東;譚久彬;向小燕 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 哈爾濱工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01B11/00 | 分類號(hào)： | G01B11/00;G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 哈爾濱龍科專利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國(guó)省代碼： | 黑龍江;23 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 移相干涉 共焦 微位移測(cè)量裝置 位相濾波器 象限 超精密測(cè)量 抗干擾能力 微位移測(cè)量 光柵 干涉光路 共焦系統(tǒng) 探測(cè)光路 同一光路 系統(tǒng)結(jié)構(gòu) 線偏振光 針孔陣列 集成度 相位差 二維 分出 分光 路移 偏振 探測(cè) 測(cè)量 采集 干涉 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于哈爾濱工業(yè)大學(xué)，未經(jīng)哈爾濱工業(yè)大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610317208.5/2.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 一種從含有移相誤差的干涉圖中恢復(fù)相位的方法
- 使用微透鏡陣列的同步移相干涉測(cè)試方法及裝置
- 一種移相干涉檢測(cè)振動(dòng)抑制方法
- 一種基于誤差補(bǔ)償?shù)囊葡喔缮嫘畔⑻幚矸椒?/a>
- 一種移相干涉儀的抗振動(dòng)方法
- 基于液晶計(jì)算全息圖的同步移相干涉測(cè)量系統(tǒng)及方法
- 基于兩步載波拼接法的數(shù)字莫爾移相干涉測(cè)量方法
- 一種基于等效波長(zhǎng)π/(2k)相移的雙波長(zhǎng)時(shí)域相位解調(diào)方法
- 基于區(qū)域定位擬合算法的數(shù)字莫爾移相干涉面形測(cè)量方法
- 一種大口徑偏振移相菲索干涉儀偏振像差的相位補(bǔ)償方法
- 基于共焦測(cè)量技術(shù)的調(diào)焦調(diào)平裝置
- 可精確調(diào)節(jié)共焦區(qū)域的顯微共焦拉曼外光路裝置
- 可精確調(diào)節(jié)共焦區(qū)域的顯微共焦拉曼外光路裝置
- 雙邊錯(cuò)位差動(dòng)共焦測(cè)量方法
- 攝像裝置及其控制方法
- 基于光譜共焦技術(shù)的手機(jī)曲面外殼輪廓測(cè)量設(shè)備
- 一種新型雙共焦波導(dǎo)回旋行波管高頻結(jié)構(gòu)
- 橫向相減差動(dòng)共焦曲率半徑測(cè)量方法
- 雙邊錯(cuò)位差動(dòng)共焦柱面曲率半徑測(cè)量方法
- 非接觸式測(cè)量中多測(cè)頭標(biāo)定方法、標(biāo)定裝置及標(biāo)準(zhǔn)塊
