[發明專利]一種高溫擴散裝置有效
| 申請號： | 201610317130.7 | 申請日： | 2016-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN105839190B | 公開（公告）日： | 2018-07-06 |
| 發明（設計）人： | 陳德榜 | 申請（專利權）人： | 溫州海旭科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B31/16 | 分類號： | C30B31/16;C30B31/06 |
| 代理公司： | 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 325000 浙江省溫州市經*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 爐體 進氣口 高溫擴散 穩流裝置 均勻性 石英舟 硅片 爐口 尾氣排放口 方塊電阻 封閉結構 硅片擴散 均勻放置 體內氣體 爐口處 上端 爐蓋 爐尾 爐中 下端 流動 | ||
【權利要求書】：
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