[發(fā)明專利]一種高溫?cái)U(kuò)散裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610317130.7 | 申請日： | 2016-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN105839190B | 公開（公告）日： | 2018-07-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳德榜 | 申請（專利權(quán)）人： | 溫州海旭科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B31/16 | 分類號： | C30B31/16;C30B31/06 |
| 代理公司： | 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 325000 浙江省溫州市經(jīng)*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 爐體 進(jìn)氣口 高溫?cái)U(kuò)散 穩(wěn)流裝置 均勻性 石英舟 硅片 爐口 尾氣排放口 方塊電阻 封閉結(jié)構(gòu) 硅片擴(kuò)散 均勻放置 體內(nèi)氣體 爐口處 上端 爐蓋 爐尾 爐中 下端 流動 | ||
【權(quán)利要求書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于溫州海旭科技有限公司，未經(jīng)溫州海旭科技有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610317130.7/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
