[發(fā)明專利]一種對(duì)晶體硅棒進(jìn)行切割的方法及其切割裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610315596.3
• 申請(qǐng)日: 2016-05-14
• 公開（公告）號(hào): CN105835246B
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉朝軒;王晨光;邵瑋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 洛陽金諾機(jī)械工程有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04;B28D7/02;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種對(duì)晶體硅棒進(jìn)行切割的方法，該方法是使用晶體硅棒的切割裝置進(jìn)行的，所述切割裝置包括機(jī)架、床身、硅棒傳送機(jī)構(gòu)、硅棒切割機(jī)構(gòu)、機(jī)械手自動(dòng)上、下料系統(tǒng)、數(shù)控操作系統(tǒng)和自動(dòng)探測(cè)定位系統(tǒng)，所述自動(dòng)探測(cè)定位系統(tǒng)包括三對(duì)對(duì)射傳感器（16），它們沿切割裝置的橫向排列成直線，分別對(duì)每根硅棒（4）表面上定位貼片所標(biāo)示的切割線進(jìn)行探測(cè)定位，并根據(jù)所探測(cè)到的切割線位置由數(shù)控操作系統(tǒng)對(duì)硅棒（4）的移動(dòng)進(jìn)行控制，同時(shí)完成對(duì)三根晶體硅棒的切割，所述的硅棒切割機(jī)構(gòu)為金剛石線切割系統(tǒng), 其特征在于：該方法包括：

對(duì)開方后的硅棒（4）進(jìn)行檢測(cè)，以確定硅棒（4）的可使用范圍，將突起的定位貼片固定在硅棒（4）的表面，標(biāo)識(shí)出前后端的切割位置；

利用導(dǎo)軌絲杠傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（2）對(duì)三根硅棒（4）分別進(jìn)行輸送，在輸送過程中依靠三對(duì)位于同一直線上的對(duì)射傳感器（16）分別對(duì)三根硅棒（4）上突起的定位貼片進(jìn)行探測(cè)定位，探測(cè)并儲(chǔ)存每根硅棒（4）前端的第一定位貼片和后端的第二定位貼片所標(biāo)示的切割線位置，并由數(shù)控操作系統(tǒng)根據(jù)該切割線位置移動(dòng)各根硅棒（4），待三根硅棒（4）的相應(yīng)切割線抵達(dá)同一直線后，再對(duì)其同時(shí)進(jìn)行切割；

硅棒（4）的首尾切割完成后，用機(jī)械手將兩端切割下的硅棒（4）放至廢料輸送裝置皮帶上移出切割裝置，將中間部分成品硅棒放至成品小車。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：

硅棒（4）在移動(dòng)探測(cè)過程中，首先通過對(duì)射傳感器（16）分別探測(cè)每根硅棒前端的第一定位貼片所標(biāo)示的第一切割線，探測(cè)到第一切割線后，通過數(shù)控操作系統(tǒng)使硅棒（4）繼續(xù)前行距離D，該距離D為對(duì)射傳感器（16）與金剛石線切割工位間的水平間距，待第一切割線抵達(dá)切割位置后，硅棒便停止運(yùn)動(dòng)，最終使三根硅棒的第一切割線在同一直線上對(duì)齊；

利用金剛石線對(duì)三根硅棒（4）同時(shí)進(jìn)行第一次切割；

第一次切割完成之后，繼續(xù)移動(dòng)硅棒（4），使其后端的第二定位貼片通過對(duì)射傳感器（16），繼續(xù)探測(cè)每根硅棒后端的第二定位貼片所標(biāo)示的第二切割線，探測(cè)到第二切割線后，通過數(shù)控操作系統(tǒng)使硅棒（4）繼續(xù)前行距離D，該距離D為對(duì)射傳感器（16）與金剛石線切割工位間的水平間距，待第二切割線抵達(dá)切割位置后，硅棒便停止運(yùn)動(dòng)，最終使三根硅棒的第二切割線在同一直線上對(duì)齊；

利用金剛石線對(duì)三根硅棒同時(shí)進(jìn)行第二次切割。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述的對(duì)射傳感器（16）的下方還增設(shè)三對(duì)對(duì)射傳感器，位于下方的三對(duì)對(duì)射傳感器分別對(duì)放置于導(dǎo)軌絲杠傳動(dòng)機(jī)構(gòu)（2）上的三根硅棒（4）的起始端面和結(jié)束端面進(jìn)行探測(cè)定位，由數(shù)控操作系統(tǒng)計(jì)算每根硅棒的總長(zhǎng)度，并確定表面突起的定位貼片在每根硅棒長(zhǎng)度方向的實(shí)際位置，當(dāng)位置超出允許切割范圍時(shí)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)報(bào)警功能。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述的金剛石線切割系統(tǒng)包括切割升降機(jī)構(gòu)（7）、切割線張緊機(jī)構(gòu)（8）、排線糾偏機(jī)構(gòu)（9）、收放線機(jī)構(gòu)（10）、配電箱（11）、提拉絲杠機(jī)構(gòu)（12）、配重機(jī)構(gòu)（13）以及冷卻水管（17），金剛石線在切割裝置中循環(huán)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，在冷卻水的作用下對(duì)硅棒（4）進(jìn)行切割。