[發明專利]一種大尺寸高純銅平面靶材的制備方法在審
| 申請號: | 201610314384.3 | 申請日: | 2016-05-13 |
| 公開(公告)號: | CN105887028A | 公開(公告)日: | 2016-08-24 |
| 發明(設計)人: | 高建杰;崔冬樂;孔雪;孫虎民 | 申請(專利權)人: | 洛陽高新四豐電子材料有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/34 | 分類號: | C23C14/34;C22F1/08 |
| 代理公司: | 鄭州知己知識產權代理有限公司 41132 | 代理人: | 季發軍 |
| 地址: | 471000 河南*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 尺寸 高純 平面 制備 方法 | ||
【說明書】:
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