[發明專利]一種多晶硅管靶的加工方法有效
| 申請號： | 201610312518.8 | 申請日： | 2016-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN105799072B | 公開（公告）日： | 2018-06-12 |
| 發明（設計）人： | 張磊;顧正;張曉峰;郭校亮 | 申請（專利權）人： | 青島藍光晶科新材料有限公司 |
| 主分類號： | B28D1/32 | 分類號： | B28D1/32 |
| 代理公司： | 青島永基知識產權代理事務所(普通合伙) 37235 | 代理人： | 殷雷 |
| 地址： | 266000 山東省青島市藍色硅*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 毛坯 多晶硅 管靶 加工 磨床 金剛石 尺寸約束 多晶硅塊 磨削加工 生產效率 圖紙要求 鑄錠切割 貫穿孔 筒外圓 貫穿 帶鋸 硅靶 內圓 筒機 粘結 鑄錠 鋼板 | ||
【權利要求書】：
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