[發(fā)明專利]一種MEMS加速度傳感器及制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610312471.5 | 申請日： | 2016-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN106018879B | 公開（公告）日： | 2019-03-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 周志健;朱二輝;陳磊;楊力建;鄺國華 | 申請（專利權(quán)）人： | 廣東合微集成電路技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G01P15/08 | 分類號： | G01P15/08;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 張海英;林波 |
| 地址： | 523808 廣東省東莞市松山湖高*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 mems 加速度 傳感器 制造 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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