[發(fā)明專利]微機(jī)電系統(tǒng)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610311685.0 | 申請日： | 2016-05-11 |
| 公開（公告）號： | CN106167246B | 公開（公告）日： | 2017-12-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | W·弗里扎;A·德厄 | 申請（專利權(quán)）人： | 英飛凌科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B81B7/02 | 分類號： | B81B7/02;B81C1/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務(wù)所11256 | 代理人： | 鄭立柱 |
| 地址： | 德國諾伊*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微機(jī) 系統(tǒng) 裝置 | ||
1.一種微機(jī)電系統(tǒng)裝置，包括：
載體，所述載體具有正側(cè)和與所述正側(cè)相反的背側(cè)，所述載體包括空腔；
粒子過濾器結(jié)構(gòu)，所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)耦合至所述載體，并且設(shè)置在所述載體的所述正側(cè)和所述背側(cè)之間的所述空腔中，所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)包括網(wǎng)格，其中所述網(wǎng)格包括多個(gè)網(wǎng)格單元，每個(gè)網(wǎng)格單元包括至少一個(gè)通孔；以及
微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，所述微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述載體的所述正側(cè)上，其中所述微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的面對所述載體的側(cè)面至少部分地暴露于所述空腔；
其中所述多個(gè)網(wǎng)格單元的高度大于對應(yīng)的所述網(wǎng)格單元的寬度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格單元的至少部分具有在0.3μm至2μm的范圍內(nèi)的寬度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格單元的至少部分具有在3μm至20μm的范圍內(nèi)的高度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格包括第一網(wǎng)格層和第二網(wǎng)格層，所述第二網(wǎng)格層設(shè)置在所述第一網(wǎng)格層之上；
其中所述微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)置在相對于所述第一網(wǎng)格層的與所述第二網(wǎng)格層相同之側(cè)；
其中所述第二網(wǎng)格層具有比所述第一網(wǎng)格層更大的寬度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述第二網(wǎng)格層是導(dǎo)電的。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述第二網(wǎng)格層具有比所述第一網(wǎng)格層更小的網(wǎng)眼寬度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)被配置為麥克風(fēng)或者揚(yáng)聲器。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)形成所述麥克風(fēng)或者揚(yáng)聲器的背板的至少部分。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格包括硅。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)至少部分地涂覆有疏水層。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)至少部分地涂覆有疏油層。
12.一種微機(jī)電系統(tǒng)裝置，包括：
第一襯底；
第二襯底，所述第二襯底鍵合至所述第一襯底；
其中所述第二襯底包括粒子過濾器結(jié)構(gòu)，所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)包括網(wǎng)格，其中所述網(wǎng)格包括多個(gè)網(wǎng)格單元，每個(gè)網(wǎng)格單元包括至少一個(gè)通孔；以及
微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，所述微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)置在與所述第二襯底相對的所述第一襯底之上；
其中所述多個(gè)網(wǎng)格單元的高度大于對應(yīng)的所述網(wǎng)格單元的寬度，并且
其中所述網(wǎng)格包括第一網(wǎng)格層和第二網(wǎng)格層，所述第二網(wǎng)格層設(shè)置在所述第一網(wǎng)格層之上；
其中所述微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)置在相對于所述第一網(wǎng)格層的與所述第二網(wǎng)格層相同之側(cè)；
其中所述第二網(wǎng)格層具有比所述第一網(wǎng)格層更大的寬度。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格單元的至少部分具有在0.3μm至2μm的范圍內(nèi)的寬度。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格單元的至少部分具有在3μm至20μm的范圍內(nèi)的高度。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述第二網(wǎng)格層具有比所述第一網(wǎng)格層更小的網(wǎng)眼寬度。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述第二網(wǎng)格層具有比所述第一網(wǎng)格層更大的網(wǎng)眼寬度。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)被配置為麥克風(fēng)或者揚(yáng)聲器。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述粒子過濾器結(jié)構(gòu)形成所述麥克風(fēng)或者揚(yáng)聲器的背板的至少部分。
19.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電系統(tǒng)裝置，
其中所述網(wǎng)格包括硅。
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