[發明專利]一種金剛線切割多晶硅片的制絨方法在審
| 申請號： | 201610310040.5 | 申請日： | 2016-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN105951184A | 公開（公告）日： | 2016-09-21 |
| 發明（設計）人： | 王新;黎明;陳振;黃蘭艷;周國富 | 申請（專利權）人： | 華南師范大學 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;C23F1/24;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 長沙星耀專利事務所 43205 | 代理人： | 許伯嚴 |
| 地址： | 510631 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金剛 切割 多晶 硅片 方法 | ||
【說明書】：
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