[發明專利]一種石墨烯場效應晶體管及其制造方法有效
| 申請號： | 201610306295.4 | 申請日： | 2016-05-10 |
| 公開（公告）號： | CN105895704B | 公開（公告）日： | 2019-05-17 |
| 發明（設計）人： | 金智;王少青;毛達誠;史敬元;彭松昂;張大勇 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L29/10;H01L29/16;H01L21/336 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 任巖 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石墨 場效應 晶體管 及其 制造 方法 | ||
【說明書】：
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