[發明專利]一種用于平板減薄缺陷定量化檢測的無參考SH導波方法在審
| 申請號： | 201610302441.6 | 申請日： | 2016-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN106018552A | 公開（公告）日： | 2016-10-12 |
| 發明（設計）人： | 王彬;笪益輝;錢征華 | 申請（專利權）人： | 南京航空航天大學 |
| 主分類號： | G01N29/04 | 分類號： | G01N29/04;G01N29/44 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙)11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 210000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 平板 缺陷 量化 檢測 參考 sh 導波 方法 | ||
【權利要求書】：
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