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[發明專利]一種TiO2摻雜ZnNb2O6陶瓷靶材的制備方法在審

專利信息
申請號: 201610301534.7 申請日: 2016-05-09
公開(公告)號: CN105924168A 公開(公告)日: 2016-09-07
發明(設計)人: 杜勇;王廣欣;崔立虎 申請(專利權)人: 中科院微電子研究所昆山分所
主分類號: C04B35/495 分類號: C04B35/495;C04B35/626;C23C14/35
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 常亮
地址: 215347 江蘇省蘇州*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 tio sub 摻雜 znnb 陶瓷 制備 方法
【權利要求書】:
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