[發明專利]用于在等離子體處理系統中控制等離子體的方法和裝置有效
| 申請號： | 201610301437.8 | 申請日： | 2013-06-24 |
| 公開（公告）號： | CN105914123B | 公開（公告）日： | 2020-01-21 |
| 發明（設計）人： | 約翰·C·小瓦爾考;布拉德福德·J·林達克 | 申請（專利權）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 31263 上海勝康律師事務所 | 代理人： | 李獻忠;張華 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 等離子體 處理 系統 控制 方法 裝置 | ||
【說明書】：
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