[發(fā)明專利]CF基板生產(chǎn)線及CF基板的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610292844.7
• 申請(qǐng)日: 2016-05-04
• 公開（公告）號(hào): CN105785637B
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李蘭艷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/1335
• 分類號(hào): G02F1/1335;G02F1/13
• 代理公司: 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂

本發(fā)明提供一種CF基板生產(chǎn)線及CF基板的制造方法。本發(fā)明的CF基板生產(chǎn)線，通過在鍍膜裝置與第二清洗裝置之間、或者第二清洗裝置與烘烤裝置之間增加一刻號(hào)裝置，用于在基板上的導(dǎo)電膜層上刻出一標(biāo)記圖案，形成對(duì)位標(biāo)記，與現(xiàn)有技術(shù)相比，避免了對(duì)鍍膜基板的頻繁搬送，提高產(chǎn)品良率，節(jié)約制程時(shí)間，降低生產(chǎn)成本。本發(fā)明的CF基板的制造方法，制程簡(jiǎn)單，避免了對(duì)鍍膜基板的頻繁搬送，提高產(chǎn)品良率，節(jié)約制程時(shí)間，降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種CF基板生產(chǎn)線及CF基板的制造方法。

背景技術(shù)

隨著顯示技術(shù)的發(fā)展，液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面顯示裝置因具有高畫質(zhì)、省電、機(jī)身薄及應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，而被廣泛的應(yīng)用于手機(jī)、電視、個(gè)人數(shù)字助理、數(shù)字相機(jī)、筆記本電腦、臺(tái)式計(jì)算機(jī)等各種消費(fèi)性電子產(chǎn)品，成為顯示裝置中的主流。

現(xiàn)有市場(chǎng)上的液晶顯示裝置大部分為背光型液晶顯示器，其包括液晶顯示面板及背光模組(backlight module)。通常液晶顯示面板由彩膜(Color Filter，CF)基板、薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)陣列基板、夾于彩膜基板與薄膜晶體管陣列基板之間的液晶(Liquid Crystal，LC)及密封膠框(Sealant)組成，其工作原理是通過在CF基板與TFT基板的電極上施加驅(qū)動(dòng)電壓來控制液晶層中的液晶分子旋轉(zhuǎn)，從而將背光模組中的光線折射出來產(chǎn)生畫面。

將傳統(tǒng)的液晶顯示面板直接彎曲以達(dá)到曲面顯示時(shí)，往往會(huì)產(chǎn)生許多光學(xué)缺陷進(jìn)而造成面板的解析度下降、色片與亮度不均(mura)。常見的一種缺陷為CF基板的遮光層在液晶顯示面板彎曲后產(chǎn)生的相對(duì)位移，使得相鄰光阻的重疊除搭配不良外，在無法采用制程參數(shù)覆蓋時(shí)，還會(huì)出現(xiàn)交界處凸起或凹陷的情形，這種情況容易造成曲面液晶顯示面板漏光。鑒于此，液晶面板制造業(yè)不斷出現(xiàn)將黑色矩陣設(shè)置于陣列基板上(BM on array,BOA)、以及將黑色間隔物設(shè)置于陣列基板上(black PS on array,BPS)等先進(jìn)技術(shù)，以解決曲面液晶電視出現(xiàn)的漏光問題。

采用BOA、BPS等液晶顯示面板制造先進(jìn)技術(shù)均需將原本在CF側(cè)的黑色矩陣遮光層轉(zhuǎn)移到陣列基板(array)側(cè)，使CF基板側(cè)只有一層透明的導(dǎo)電氧化銦錫(ITO)層。為保證液晶顯示面板在成盒(cell)制程對(duì)組成盒的精度和可行性，需在透明導(dǎo)電ITO膜上刻出對(duì)位標(biāo)記(mark)等簡(jiǎn)單標(biāo)志。按照現(xiàn)有的各廠商的CF基板的制造流程設(shè)計(jì)，CF基板的制造流程主要包括基板預(yù)清洗、ITO鍍膜(sputter)、烘烤前清洗、烘烤退火(annealing)等制程，生產(chǎn)線上并沒有刻對(duì)位標(biāo)記的機(jī)臺(tái)裝置。在現(xiàn)有的生產(chǎn)線設(shè)計(jì)狀況下需要在ITO膜上刻對(duì)位標(biāo)記時(shí)，需要在ITO鍍膜后將基板運(yùn)輸?shù)狡渌麢C(jī)臺(tái)如激光(laser)刻號(hào)機(jī)中進(jìn)行刻號(hào)，刻號(hào)完成后再返回CF基板制造生產(chǎn)線完成后續(xù)的制程，如此操作會(huì)有以下幾個(gè)問題：第一，搬送工序復(fù)雜，特別是對(duì)于G8.5以上的液晶面板；第二，會(huì)延長(zhǎng)生產(chǎn)的制程時(shí)間(cycle time)，增加生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種CF基板生產(chǎn)線，可避免對(duì)鍍膜基板的頻繁搬送，提高產(chǎn)品良率，節(jié)約制程時(shí)間，降低生產(chǎn)成本。

本發(fā)明的目的還在于提供一種CF基板的制造方法，可避免對(duì)鍍膜基板的頻繁搬送，提高產(chǎn)品良率，節(jié)約制程時(shí)間，降低生產(chǎn)成本。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種CF基板生產(chǎn)線，包括依次排列的第一清洗裝置、鍍膜裝置、刻號(hào)裝置、第二清洗裝置、及烘烤裝置，還包括分布于第一清洗裝置與鍍膜裝置之間、鍍膜裝置與刻號(hào)裝置之間、刻號(hào)裝置與第二清洗裝置之間、及第二清洗裝置與烘烤裝置之間的運(yùn)輸裝置；

所述第一清洗裝置用于在基板鍍膜前對(duì)基板進(jìn)行清洗；

所述鍍膜裝置用于在基板上鍍上一導(dǎo)電膜層；

所述刻號(hào)裝置用于在基板上的導(dǎo)電膜層上刻出一標(biāo)記圖案；