[發明專利]一種復合吸收層熱釋電紅外探測器

有效

• 申請號: 201610290099.2
• 申請日: 2016-05-05
• 公開（公告）號: CN105789428B
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發明（設計）人: 梁志清;劉子驥;伍瀏權;馬振東;王濤
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: H01L37/02
• 分類號: H01L37/02;G01J5/34
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙) 51232
• 代理人: 葛啟函

1.一種復合吸收層熱釋電紅外探測器，其特征在于，其紅外傳感器單元中吸收層為復合層結構，由頂層至底層依次包括：鈦金屬層(1)、介質層(2)、鎳鉻合金層(3)、鉭酸鋰晶體層(4)和反射層(5)；所述鎳鉻合金層(3)沉積在鉭酸鋰晶體層(4)的頂面，所述反射層(5)沉積在鉭酸鋰晶體層(4)的底面，所述鈦金屬層(1)沉積在介質層(2)的頂面。

2.根據權利要求1所述的一種復合吸收層熱釋電紅外探測器，其特征在于，所述介質層(2)的材料為氮化硅。

3.根據權利要求1所述的一種復合吸收層熱釋電紅外探測器，其特征在于，所述反射層(3)為在紅外波段具有高反射率的金屬層。

4.根據權利要求1所述的一種復合吸收層熱釋電紅外探測器，其特征在于，鈦金屬層(1)、介質層(2)和反射層(5)構成諧振腔。