[發明專利]用于MEMS換能器的系統和方法有效
| 申請號： | 201610287129.4 | 申請日： | 2016-05-03 |
| 公開（公告）號： | CN106289386B | 公開（公告）日： | 2018-12-07 |
| 發明（設計）人： | V·K·拉賈拉曼;Y·阿納恩蒂古;A·德厄;S·科爾布 | 申請（專利權）人： | 英飛凌科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01D21/02 | 分類號： | G01D21/02;G01N27/12;G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 鄭立柱 |
| 地址： | 德國諾伊*** | 國省代碼： | 德國;DE |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 mems 換能器 系統 方法 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于英飛凌科技股份有限公司，未經英飛凌科技股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610287129.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種多功能傳感器
- 下一篇：一種地質環境監測系統
