[發明專利]掩模版彎曲補償裝置、檢測補償系統及補償方法

有效

• 申請號: 201610285810.5
• 申請日: 2016-04-29
• 公開（公告）號: CN107329374B
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發明（設計）人: 王健
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/44
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種掩模版彎曲補償裝置，其特征在于：包括能量補償單元和用于固定所述能量補償單元的的固定框架；其中，

所述能量補償單元包括光學傳播元件、能量調制元件和補償光源；

所述補償光源用于發出補償光束；

所述能量調制元件用于控制所述補償光束的能量；

所述光學傳播元件用于將所述補償光束反射至掩模版的熱補償區域；

所述能量補償單元還包括補償控制單元；所述補償控制單元的補償能量數值信號輸出端與所述能量調制元件連接，所述補償控制單元的開關控制信號輸出端與所述能量調制元件和所述補償光源連接，所述補償控制單元用于控制所述補償光源的開關和向所述能量調制元件傳送補償能量數值信號。

2.如權利要求1所述的掩模版彎曲補償裝置，其特征在于：所述能量補償單元為多個，且多個能量補償單元沿所述固定框架周向均勻布設。

3.如權利要求1或2所述的掩模版彎曲補償裝置，其特征在于：所述補償光源發出的補償光束通過光纖傳輸。

4.一種掩模版彎曲的檢測補償系統，其特征在于：包括檢測裝置和權利要求1所述的掩模版彎曲補償裝置；

所述檢測裝置包括多個探測器和控制子系統；

所述掩模版上設有若干個用于測量掩模版彎曲度的測量標記，所述多個探測器用于讀取所述測量標記的位置信息；

所述控制子系統用于根據多個探測器傳輸的數據計算掩模版彎曲度的變形量，進而計算抵消所述掩模版彎曲度的變形量所需要的補償能量值，并將該補償能量值傳至補償控制單元的同時，向補償控制單元發出相應的控制指令；

所述補償控制單元將接收到的補償能量數值信號傳至能量調制元件，并根據接收到的控制指令控制補償光源的開關；

所述能量調制元件根據接收到的補償能量數值信號控制補償光束能量。

5.如權利要求4所述的掩模版彎曲的檢測補償系統，其特征在于：所述測量標記位于所述掩模版的下表面，該下表面對應掩模臺的上表面。

6.如權利要求5所述的掩模版彎曲的檢測補償系統，其特征在于：所述探測器設置于所述掩模臺上，并與所述測量標記對應。

7.如權利要求6所述的掩模版彎曲的檢測補償系統，其特征在于：所述測量標記分別位于所述掩模版的四角。

8.如權利要求7所述的掩模版彎曲的檢測補償系統，其特征在于：所述掩模版的每一角上具有至少兩個測量標記，并排列分布在所述掩模版對應角的角平分線上。

9.如權利要求8所述的掩模版彎曲的檢測補償系統，其特征在于：所述控制子系統包括依次連接的計算單元、比較單元和測量控制單元；

所述多個探測器的信號輸出端分別與計算單元連接；

所述計算單元的結果信號輸出端與補償控制單元的補償能量數值信號輸入端連接，計算單元用于根據探測器傳輸的數據計算掩模版彎曲度的變形量，并將該掩模版彎曲度的變形量傳至比較單元，計算單元還根據計算的掩模版彎曲度的變形量計算抵消所述掩模版彎曲度的變形量所需要的補償能量值，并將該補償能量值傳至補償控制單元；

所述比較單元將其接收到的掩模版彎曲度的變形量與其內預設的變形量閾值進行比較，并將比較結果傳至測量控制單元；

所述測量控制單元根據接收到的比較結果向補償控制單元發出相應的控制指令。