[發(fā)明專利]側立鏡組及其安裝方法

有效

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• 申請日: 2016-04-29
• 公開（公告）號: CN107329225B
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發(fā)明（設計）人: 汪明天;劉國淦
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

本發(fā)明提供一種側立鏡組及其安裝方法，該鏡組包括鏡框和光學鏡片，對稱分布于鏡框垂直中心線兩側與鏡框一體化成型設置的兩個硬支撐點，每個硬支撐點與光學鏡片直接接觸連接；在光學鏡片的底部設置有通過調整螺釘接觸連接的彈性支撐件；鏡框的頂部設置有用于限定光學鏡片產生徑向位移的壓緊螺釘。該方法包括，將光學鏡片側立放置在鏡框的硬支撐體上；通過壓緊螺釘施加給光學鏡片一定大小的力，將光學鏡片與每個硬支撐點均相抵；調整用于支撐光學鏡片的彈性支撐件的支撐力，鎖緊調整螺釘；安裝一個以上的預緊簧片，對點膠孔進行點膠，以固定連接鏡框與光學鏡片；安裝軸向限位塊。本發(fā)明具有穩(wěn)定性較高、面型精度較高的效果，有利于實現工程化。

技術領域

本發(fā)明涉及一種鏡組，特別涉及一種側立鏡組及其安裝方法。

背景技術

高精密光學鏡頭的加工和制造是一個非常復雜的過程，隨著對光學系統(tǒng)成像質量要求越來越高，不僅光路越來越復雜，光學元件越來越多，而且要求光學元件有微米級的定位精度，同時還需要保持十納米級的面型精度。

在折反射型鏡頭中，光軸除了有豎直走向，還有水平走向，即光學元件除了水平安裝，還需側立安裝。重力對水平放置的光學元件的作用與對側立放置的光學元件的作用完全不同，當光學元件直徑較大(大于200mm)時，鏡片重力的作用不能忽視，裝夾方式必須考慮重力因素，而此時水平安裝的裝夾方式往往不再適用于側立安裝。水平安裝的鏡片常采用周圍點膠的方式固定，光學元件膠接在鏡框上，但這種方式在側立安裝的情況下，面型較差，往往達到幾百納米的面型變化。

另一種常用的光學元件側立安裝方法，是V型固定法，即下側水平對稱的兩點支撐鏡片，效果如V型塊，上側有一點安全擋塊。這種方式光學元件重力主要作用在下側兩點上，造成應力集中，面型變化較大。裝夾方式對鏡片產生的應力將直接影響鏡片面型，為了得到較高的面型精度，常采用無應力安裝方法。

又一種光學元件無應力側立安裝方法是條帶法，即將光學元件放置在條帶上，光學元件外圓下側與條帶吻合，實現均勻的柔性支撐，面型變化較小。考慮到實際工程中會遇到搬運、震動等因素，這種安裝結構往往適用于試驗，不利于工程化。

再一種光學元件無應力側立安裝方法，是底部多點彈性支撐的方式，即將光學元件放置在多個彈性上，通過計算各柔性件在徑向上的受力，實現均勻的彈性支撐，面型變化較小。考慮到實際工程中，該組件水平裝配，側立使用的特點，鏡片的偏心和傾斜可控性差，且集成時各彈簧的裝配不方便等問題，其往往適應于試驗，不利于工程化。

發(fā)明內容

本發(fā)明所要解決的技術問題是，克服以上不足，提供了一種穩(wěn)定性較高、面型精度較高，以及有利于實現工程化的側立鏡組。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明的技術方案是：一種側立鏡組，包括側立設置的鏡框，側立安裝在所述鏡框內的光學鏡片，對稱分布于所述鏡框垂直中心線兩側的硬支撐點、且每個所述硬支撐點位于所述鏡框的水平中心線的下方，每個所述硬支撐點均與所述光學鏡片直接接觸連接；在位于所述光學鏡片的底部正下方設置有彈性支撐件，所述彈性支撐件通過貫穿于所述鏡框的底部正下方的調整螺釘接觸連接；所述鏡框的頂部正上方貫穿有用于限定所述光學鏡片產生徑向位移的壓緊螺釘。

進一步的，本發(fā)明提供的側立鏡組，所述鏡框與所述光學鏡片之間通過點膠孔內的膠固定連接，所述點膠孔貫穿于所述鏡框，對稱分布于所述鏡框的垂直中心線的兩側，且位于所述鏡框的水平中心線上方。

進一步的，本發(fā)明提供的側立鏡組，對稱分布于所述鏡框的垂直中心線的兩側的兩個所述點膠孔成30至170度的夾角設置。

進一步的，本發(fā)明提供的側立鏡組，對稱分布于所述鏡框垂直中心線兩側的兩個所述硬支撐點成30至120度的夾角設置。

進一步的，本發(fā)明提供的側立鏡組，還包括用于校正所述光學鏡片產生軸向位移的支撐夾緊機構。