[發(fā)明專利]一種玻璃陶瓷復合型絕緣子封裝外殼及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610283760.7 | 申請日: | 2016-04-29 |
| 公開(公告)號: | CN105788779B | 公開(公告)日: | 2017-07-18 |
| 發(fā)明(設計)人: | 楊旭東;李東華;相裕兵;王婷;劉貴慶 | 申請(專利權(quán))人: | 濟南市半導體元件實驗所 |
| 主分類號: | H01L23/29 | 分類號: | H01L23/29;H01L21/56 |
| 代理公司: | 濟南誠智商標專利事務所有限公司37105 | 代理人: | 張小鴿 |
| 地址: | 250014 山*** | 國省代碼: | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 玻璃 陶瓷 復合型 絕緣子 封裝 外殼 及其 制備 方法 | ||
1.一種玻璃陶瓷復合型絕緣子封裝外殼,其特征在于,包括金屬底板、金屬墻體、玻璃陶瓷復合型絕緣子、金屬密封環(huán)、引出電極、焊接部位金屬化層;
所述金屬墻體為一個僅包括四面?zhèn)让姹诘目蛐谓Y(jié)構(gòu);
所述金屬墻體設置于所述金屬底板的一個長寬側(cè)面上,且所述金屬底板與金屬墻體構(gòu)成一個一面開口的腔室;
所述金屬墻體的下側(cè)面壁上開設有用于穿插固定所述引出電極的連接通孔;
所述引出電極設置于所述金屬墻體的連接通孔內(nèi);
所述玻璃陶瓷復合型絕緣子包括玻璃材質(zhì)部與陶瓷材質(zhì)部,所述玻璃材質(zhì)部與所述陶瓷材質(zhì)部構(gòu)成一體式結(jié)構(gòu)的玻璃陶瓷復合型絕緣子;
所述玻璃材質(zhì)部設置于所述連接通孔的內(nèi)孔壁與所述引出電極的周向面之間的間隙內(nèi);
所述陶瓷材質(zhì)部套設于所述引出電極上且所述陶瓷材質(zhì)部的上端面無縫緊貼于所述玻璃材質(zhì)部的下端面,且所述陶瓷材質(zhì)部的上端面形狀大小滿足所述陶瓷材質(zhì)部的上端面遮住所述玻璃材質(zhì)部與所述連接通孔的連接界面的下端;
所述金屬密封環(huán)套設在所述引出電極上且所述金屬密封環(huán)的環(huán)形面通過所述焊接部位金屬化層與所述陶瓷材質(zhì)部的下端面固定連接,且所述金屬密封環(huán)的內(nèi)側(cè)面與所述引出電極的周向面熔焊連接;
所述玻璃材質(zhì)部為空心圓柱狀,上下外徑相同,所述玻璃材質(zhì)部的下端面與所述金屬墻體的下側(cè)面壁的外表面齊平;
所述陶瓷材質(zhì)部為空心圓柱狀,上下外徑不同,包括上寬徑部與下窄徑部,所述上寬徑部與所述下窄徑部圓滑過渡連接;
所述玻璃材質(zhì)部與所述陶瓷材質(zhì)部通過熔滲連接成一體式結(jié)構(gòu)的玻璃陶瓷復合型絕緣子;
還包括用于封蓋所述金屬底板與金屬墻體構(gòu)成的腔室的開口面的蓋板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃陶瓷復合型絕緣子封裝外殼,其特征在于,所述金屬底板為無氧銅板材質(zhì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃陶瓷復合型絕緣子封裝外殼,其特征在于,所述金屬墻體為低碳鋼材質(zhì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃陶瓷復合型絕緣子封裝外殼,其特征在于,所述引出電極為可伐銅芯引線材質(zhì)。
5.一種權(quán)利要求1所述的玻璃陶瓷復合型絕緣子封裝外殼的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
1)制作金屬底板、金屬墻體、金屬密封環(huán)以及引出電極,且制作固態(tài)的玻璃材質(zhì)部以及固態(tài)的陶瓷材質(zhì)部,所述陶瓷材質(zhì)部的下端面上設置有焊接部位金屬化層;
2)將步驟1)中所述的金屬墻體、引出電極、玻璃材質(zhì)部以及陶瓷材質(zhì)部按照權(quán)利要求1中所述的玻璃陶瓷復合型絕緣子封裝外殼的結(jié)構(gòu)形式組裝起來,用石墨模具作為定位工裝;
3)將步驟2)組裝完成的組裝件放入氣氛保護高溫燒結(jié)爐內(nèi)進行燒結(jié)成型,在燒結(jié)過程中,所述玻璃材質(zhì)部與所述陶瓷材質(zhì)部燒結(jié)為一體式結(jié)構(gòu)得到所述玻璃陶瓷復合型絕緣子,出爐后得到由金屬墻體、引出電極、玻璃陶瓷復合型絕緣子構(gòu)成的燒結(jié)一體件;
4)將步驟3)得到的燒結(jié)一體件通過在氣氛保護高溫燒結(jié)爐內(nèi)熔焊銀銅釬料將所述金屬密封環(huán)焊接在所述陶瓷材質(zhì)部的下端面上的焊接部位金屬化層上;
5)將步驟4)熔焊金屬密封環(huán)后的燒結(jié)一體件與金屬底板組裝,然后通過在氣氛保護高溫燒結(jié)爐內(nèi)熔焊銀銅釬料將二者熔焊成一體結(jié)構(gòu);
6)在金屬底板、金屬墻體以及引出電極的所有裸露的金屬內(nèi)外表面上先鍍鎳,再鍍金,最終得到成品的玻璃陶瓷復合型絕緣子封裝外殼。
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