[發明專利]具有發射電流及偏壓電位控制的電離計在審
| 申請號： | 201610282044.7 | 申請日： | 2009-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN106404277A | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發明（設計）人： | 賴利·K·卡麥可;杰西·A·韋伯;約翰·H·亨利;麥可·N·史考特;葛拉多·A·布魯克爾;肯尼斯·D·凡安特衛普 | 申請（專利權）人： | MKS儀器公司 |
| 主分類號： | G01L21/32 | 分類號： | G01L21/32 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司11243 | 代理人： | 許靜,黃燦 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 發射 電流 偏壓 電位 控制 電離 | ||
【說明書】：
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