[發明專利]光堿產生劑以及包含其的光致抗蝕劑組合物有效
| 申請號： | 201610281898.3 | 申請日： | 2016-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN106154747B | 公開（公告）日： | 2020-10-16 |
| 發明（設計）人： | M·K·蔣;E·H·柳;C-Y·洪;M·Y·金;J-J·李;D-J·洪;D-Y·金;H-J·林;J·Y·安;O-M·全 | 申請（專利權）人： | 羅門哈斯電子材料韓國有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;G03F7/038;C07C271/12;C07C271/14 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 陳哲鋒;胡嘉倩 |
| 地址： | 韓國忠*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 產生 以及 包含 光致抗蝕劑 組合 | ||
【權利要求書】：
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