[發明專利]激光輔助放電極紫外光源預電離等離子體電子溫度測量方法在審
| 申請號： | 201610279298.3 | 申請日： | 2016-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN105739249A | 公開（公告）日： | 2016-07-06 |
| 發明（設計）人： | 趙永蓬;王騏;徐強 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109 | 代理人： | 岳昕 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 輔助 電極 紫外 光源 電離 等離子體 電子 溫度 測量方法 | ||
【權利要求書】：
1.激光輔助放電極紫外光源預電離等離子體電子溫度測量方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：
步驟一、使激光器發出的激光脈沖經過聚焦系統后作用在Sn靶上，產生Sn的初始等離子體，測量所述初始等離子體的發射光譜；
步驟二、從初始等離子體的發射光譜中選取至少兩條譜線，所選取的所有譜線至少對應兩個不同的上能級，讀取每條譜線的波長和強度，根據所述譜線的波長、強度及原子參數，計算得到等離子體的電子溫度。
2.根據權利要求1所述的激光輔助放電極紫外光源預電離等離子體電子溫度測量方法，其特征在于，步驟二中選取的譜線的數量為三條，且三條譜線對應三個不同的上能級。
3.根據權利要求1所述的激光輔助放電極紫外光源預電離等離子體電子溫度測量方法，其特征在于，步驟二中計算等離子體電子溫度的具體為：
步驟二一、查找每條譜線對應的自發輻射幾率A、上能級權重g和上能級激發能E，
步驟二二、計算每條譜線對應的值，其中，λ為該譜線的波長，I為該譜線的強度；
步驟二三、將N條譜線的E值和值擬合成一條直線，E為橫坐標，為縱坐標，得到該直線的斜率根據所述斜率計算得到電子溫度kT。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于哈爾濱工業大學，未經哈爾濱工業大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610279298.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
