[發(fā)明專利]外延設(shè)備腔室蓋板

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610278900.1
• 申請日: 2016-04-28
• 公開（公告）號: CN107331634A
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 季文明;林志鑫;劉源;保羅·邦凡蒂
• 申請（專利權(quán)）人: 上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/20
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237
• 代理人: 金華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備，特別涉及一種外延設(shè)備腔室蓋板。

背景技術(shù)

目前，外延設(shè)備的溫度測量主要采用熱電阻(Thermal-couple，TC)進(jìn)行測量，將熱電阻放置在外延設(shè)備腔體的規(guī)定位置進(jìn)行溫度測量，這種測量方法測量外延腔室的溫度只能抽測幾個位置的溫度，無法準(zhǔn)確測量外延腔體內(nèi)所有區(qū)域的溫度分布。

并且，由于熱電阻為耗材，每次設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)(PM)時都需要更換四根熱電阻，熱電阻的價格昂貴且使用量較大，并且使用過程中會出現(xiàn)TC漏的意外，影響外延層的質(zhì)量，污染外延基臺。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種外延設(shè)備腔室蓋板，通過使用可移動的紅外測溫裝置替換目前使用的熱電阻測溫，能夠測量整個晶圓內(nèi)的溫度分布，降低維護(hù)成本。

本發(fā)明的技術(shù)方案是一種外延設(shè)備腔室蓋板，放置于外延設(shè)備腔室的上部，一部分所述蓋板為透明材質(zhì)，在所述蓋板上形成可視窗口，紅外測溫裝置的探頭能夠在所述可視窗口上自由移動，測量所述腔室內(nèi)晶圓的溫度。

進(jìn)一步的，在所述外延設(shè)備腔室蓋板中，所述透明材質(zhì)為石英。

進(jìn)一步的，在所述外延設(shè)備腔室蓋板中，所述可視窗口為長方形，位于所述蓋板的中間位置。

進(jìn)一步的，在所述外延設(shè)備腔室蓋板中，所述可視窗口在所述蓋板上水平設(shè)置。

進(jìn)一步的，在所述外延設(shè)備腔室蓋板中，所述可視窗口位于所述蓋板豎直 方向上的中間位置，且在水平方向上貫穿所述蓋板。

進(jìn)一步的，在所述外延設(shè)備腔室蓋板中，所述可視窗口位于所述蓋板豎直方向上的中間位置，且位于所述蓋板的左半側(cè)或右半側(cè)。

進(jìn)一步的，在所述外延設(shè)備腔室蓋板中，所述可視窗口在所述蓋板上豎直設(shè)置。

進(jìn)一步的，在所述外延設(shè)備腔室蓋板中，所述可視窗口位于所述蓋板水平方向上的中間位置，且在豎直方向上貫穿所述蓋板。

進(jìn)一步的，在所述外延設(shè)備腔室蓋板中，所述可視窗口位于所述蓋板水平方向上的中間位置，且位于所述蓋板的上半側(cè)或下半側(cè)。

進(jìn)一步的，在所述外延設(shè)備腔室蓋板中，所述可視窗口的寬度為1mm～50mm。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的外延設(shè)備腔室蓋板，通過將腔室蓋板的一部分設(shè)置為透明材質(zhì)，在蓋板上形成可視窗口，從而采用紅外測溫裝置替換目前使用的熱電阻測溫，紅外測溫裝置的探頭在所述可視窗口上自由移動，能夠測量整個晶圓內(nèi)的溫度分布，降低設(shè)備維護(hù)成本，使得維護(hù)簡單方便，且不影響外延設(shè)備的穩(wěn)定性。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實施例所提供的外延設(shè)備腔室蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明一實施例所提供的外延設(shè)備的截面圖。

圖3為本發(fā)明一實施例所提供的外延設(shè)備腔室蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本發(fā)明一實施例所提供的外延設(shè)備腔室蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為本發(fā)明一實施例所提供的外延設(shè)備腔室蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容做進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

其次，本發(fā)明利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本發(fā)明實例時，為了 便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)對此作為本發(fā)明的限定。

本發(fā)明的核心思想是：通過將腔室蓋板的一部分設(shè)置為透明材質(zhì)，在蓋板上形成可視窗口，從而采用紅外測溫裝置替換目前使用的熱電阻測溫，紅外測溫裝置的探頭在所述可視窗口上自由移動，能夠測量整個晶圓內(nèi)的溫度分布，降低設(shè)備維護(hù)成本，使得維護(hù)簡單方便，且不影響外延設(shè)備的穩(wěn)定性。

圖1為本發(fā)明一實施例所提供的外延設(shè)備的腔室蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，本發(fā)明提出一種外延設(shè)備的腔室蓋板100，放置于外延設(shè)備腔室的上部，一部分所述蓋板為透明材質(zhì)，在所述蓋板100上形成可視窗口101，紅外測溫裝置的探頭能夠在所述可視窗口101上自由移動，如圖中箭頭所示，從而探測到腔室內(nèi)部晶圓的溫度。