[發明專利]伯努利基座在審
| 申請號： | 201610278821.0 | 申請日： | 2016-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN107326434A | 公開（公告）日： | 2017-11-07 |
| 發明（設計）人： | 劉源;保羅·邦凡蒂 | 申請（專利權）人： | 上海新昇半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/12 | 分類號： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 金華 |
| 地址： | 201306 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 伯努利 基座 | ||
1.一種伯努利基座，包括支撐柱以及位于所述支撐柱上的支撐平臺，所述支撐平臺用于支撐晶圓，其特征在于，所述支撐平臺內設置有氣體通道，所述支撐平臺的上表面設置有若干個氣孔，所述氣孔與所述氣體通道連通；所述支撐柱內設置有氣體入口，用于向所述氣體通道內通入氣體。
2.如權利要求1所述的伯努利基座，其特征在于，所述若干個氣孔中第一部分氣孔與所述氣體通道直接連通，第二部分氣孔通過所述第一部分氣孔與所述氣體通道連通。
3.如權利要求2所述的伯努利基座，其特征在于，所述若干個氣孔在所述支撐平臺上構成多個類似圖形，每個所述圖形上的氣孔相連通，每個所述圖形上均有氣孔與所述氣體通道直接連通。
4.如權利要求3所述的伯努利基座，其特征在于，所述圖形為圓環。
5.如權利要求4所述的伯努利基座，其特征在于，多個圓環為直徑各異的同心圓環。
6.如權利要求5所述的伯努利基座，其特征在于，所述支撐平臺內設置有一個氣體通道，所述氣體通道連通多個圓環上經過圓心的相互垂直的兩個方向上的氣孔。
7.如權利要求5所述的伯努利基座，其特征在于，所述若干個氣孔在所述支撐平臺上構成兩個圓環，每個所述圓環內的氣孔相連通，每個所述圓環內均有氣孔與所述氣體通道直接連通。
8.如權利要求7所述的伯努利基座，其特征在于，所述支撐平臺內設置有兩個氣體通道，每一個氣體通道連通一個圓環上經過圓心的某一方向上的氣孔。
9.如權利要求8所述的伯努利基座，其特征在于，所述兩個圓環上被所述氣體通道連通的氣孔所在方向相互垂直。
10.如權利要求1～9中任一項所述的伯努利基座，其特征在于，所述氣孔所在的方向與所述支撐平臺的上表面具有一角度。
11.如權利要求10所述的伯努利基座，其特征在于，還包括一腔室，包圍所述支撐柱、支撐平臺以及位于所述支撐平臺上方的晶圓。
12.如權利要求11所述的伯努利基座，其特征在于，所述腔室包括位于一 側的第一進氣口以及位于另一側的出氣口，所述第一進氣口用于通入反應氣體。
13.如權利要求12所述的伯努利基座，其特征在于，所述腔室還包括第二進氣口，與所述第一進氣口位于同側，且位置低于所述支撐平臺。
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