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[發明專利]用于制造半導體器件的方法、半導體器件和集成電路在審

專利信息
申請號: 201610275900.6 申請日: 2016-04-29
公開(公告)號: CN106098688A 公開(公告)日: 2016-11-09
發明(設計)人: A.邁澤;T.施勒澤 申請(專利權)人: 英飛凌科技股份有限公司
主分類號: H01L27/092 分類號: H01L27/092;H01L21/265;H01L21/8232
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 申屠偉進;杜荔南
地址: 德國瑙伊比*** 國省代碼: 德國;DE
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摘要:
搜索關鍵詞: 用于 制造 半導體器件 方法 集成電路
【權利要求書】:
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