[發明專利]電可編程熔絲系統及其測試方法

有效

• 申請號: 201610274388.3
• 申請日: 2016-04-28
• 公開（公告）號: CN107342108B
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 陳羅平
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
• 主分類號: G11C29/00
• 分類號: G11C29/00;G11C29/02
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 高靜;吳敏

1.一種電可編程熔絲系統，其特征在于，包括：

邏輯控制模塊、分別與所述邏輯控制模塊耦接的主編程模塊以及冗余編程模塊；

所述邏輯控制模塊，適于輸入編程控制信號，根據所述編程控制信號產生控制主編程模塊操作的主輸入信號；以及接收所述主編程模塊反饋的主輸出信號，并在檢測到所述主編程模塊編程失敗時，產生控制所述冗余編程模塊操作的冗余輸入信號；還適于輸出編程結果，所述編程結果基于所述主輸出信號或所述冗余編程模塊反饋的冗余輸出信號獲得，用于標示所述電可編程熔絲系統是否編程成功；

所述主編程模塊，適于接收所述主輸入信號，并進入編程狀態；以及向所述邏輯控制模塊反饋主輸出信號，所述主輸出信號用于標示所述主編程模塊是否編程成功；

所述冗余編程模塊，適于接收所述冗余輸入信號，并進入編程狀態；以及向所述邏輯控制模塊反饋冗余輸出信號，所述冗余輸出信號用于標示所述冗余編程模塊是否編程成功。

2.如權利要求1所述的電可編程熔絲系統，其特征在于，所述主編程模塊包括Efuse陣列單元，所述冗余編程模塊包括Efuse陣列單元，且所述主編程模塊與冗余編程模塊相同。

3.如權利要求1所述的電可編程熔絲系統，其特征在于，所述主編程模塊包括編程單元，所述編程單元適于在接收所述主輸入信號后進入編程狀態；所述主編程模塊還包括：

與所述編程單元相連的第二讀取單元，所述第二讀取單元適于，在所述編程單元結束編程后，讀取所述編程單元的狀態；

與所述第二讀取單元相連的第二判斷單元，所述第二判斷單元適于接收讀取的所述第二讀取單元的狀態，并判斷所述編程單元是否編程成功；

與所述第二判斷單元相連的輸出單元，所述輸出單元適于向所述邏輯控制模塊反饋主輸出信號。

4.如權利要求3所述的電可編程熔絲系統，其特征在于，所述主編程模塊還包括：

與所述編程單元相連的第一讀取單元，所述第一讀取單元適于，在接收到所述主輸入信號后，讀取所述編程單元的狀態；

與所述第一讀取單元以及輸出單元相連的第一判斷單元，所述第一判斷單元適于接收讀取的所述第一讀取單元的狀態，并判斷所述編程單元是否進行過編程，當進行過編程時結束對主編程模塊的操作，當未進行過編程時，所述編程單元進入編程狀態。

5.如權利要求1所述的電可編程熔絲系統，其特征在于，所述冗余編程模塊包括冗余編程單元，所述冗余編程單元適于，在接收到冗余輸入信號后進入編程狀態；所述冗余編程模塊還包括：

與所述冗余編程單元相連的冗余讀取單元，所述冗余讀取單元適于在所述冗余編程單元結束編程后，讀取所述冗余編程單元的狀態；

與所述冗余讀取單元相連的冗余判斷單元，所述冗余編程單元適于接收讀取的所述冗余讀取單元的狀態，并判斷所述冗余編程單元是否編程成功；

與所述冗余判斷單元相連的冗余輸出單元，所述冗余輸出單元適于向所述邏輯控制模塊反饋冗余輸出信號。

6.如權利要求1所述的電可編程熔絲系統，其特征在于，所述主編程模塊還適于：接收所述邏輯控制模塊提供的行編譯地址。

7.如權利要求6所述的電可編程熔絲系統，其特征在于，所述主編程模塊還適于：依次對所述行編譯地址對應的列編程地址的每一列進行操作，以獲知所述主編程模塊在所述行編譯地址的所有列編程地址是否編程成功。

8.如權利要求1所述的電可編程熔絲系統，其特征在于，所述主輸出信號標示主編程模塊為編程成功，或者，所述冗余輸出信號標示冗余編程模塊為編程成功時，輸出的所述編程結果標示電可編程熔絲系統編程成功。

9.如權利要求1所述的電可編程熔絲系統，其特征在于，所述編程控制信號包括：實際編程時間以及編程數據。