[發明專利]一種光譜檢測元素分布的微區掃描裝置及其微區掃描方法有效
| 申請號： | 201610272808.4 | 申請日： | 2016-04-27 |
| 公開（公告）號： | CN105973871B | 公開（公告）日： | 2019-04-09 |
| 發明（設計）人： | 王琦;陳慧茹;吳躍進;劉晶;劉斌美;林晏清;范爽 | 申請（專利權）人： | 中國科學院合肥物質科學研究院 |
| 主分類號： | G01N21/71 | 分類號： | G01N21/71 |
| 代理公司： | 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 丁瑞瑞 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光譜 檢測 元素 分布 掃描 裝置 及其 方法 | ||
【說明書】：
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