[發(fā)明專利]傳送設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610270892.6
• 申請(qǐng)日: 2016-04-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105712045B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭光龍;王志強(qiáng);蔣勇;殷鵬飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B65G35/00
• 分類號(hào): B65G35/00
• 代理公司: 北京安信方達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11262
• 代理人: 張京波,曲鵬

1.一種傳送設(shè)備，用于傳送基板，其特征在于，所述傳送設(shè)備包括傳送通道、懸浮裝置、動(dòng)力裝置和支撐裝置；

所述懸浮裝置用于控制基板懸浮在所述傳送通道中；

所述動(dòng)力裝置用于在所述基板懸浮時(shí)對(duì)所述基板施加傳送動(dòng)力，所述動(dòng)力裝置包括設(shè)置在所述傳送通道下方的下動(dòng)力推風(fēng)板以及設(shè)置在所述傳送通道上方的上動(dòng)力推風(fēng)板，所述下動(dòng)力推風(fēng)板設(shè)置在所述支撐裝置的底板上，所述上動(dòng)力推風(fēng)板設(shè)置在所述支撐裝置的頂板上；

所述下動(dòng)力推風(fēng)板用于提供流向?yàn)樗龌宓膫魉头较蚯移蛏系臍饬鳎錾蟿?dòng)力推風(fēng)板用于提供流向?yàn)樗龌宓膫魉头较蚯移蛳碌臍饬鳎ㄟ^(guò)下動(dòng)力推風(fēng)板和上動(dòng)力推風(fēng)板提供的氣流，對(duì)基板提供傳送方向的動(dòng)力；所述下動(dòng)力推風(fēng)板和/或所述上動(dòng)力推風(fēng)板提供的氣流為等離子氣流，從而去除傳送過(guò)程中易發(fā)的靜電不良。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送設(shè)備，其特征在于，所述懸浮裝置包括設(shè)置在所述傳送通道下方的平衡風(fēng)板，所述平衡風(fēng)板上設(shè)置有吹風(fēng)口和吸風(fēng)口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送設(shè)備，其特征在于，所述懸浮裝置包括多個(gè)所述平衡風(fēng)板。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送設(shè)備，其特征在于，還包括制動(dòng)裝置，所述制動(dòng)裝置用于提供控制所述基板停止傳送的制動(dòng)力。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳送設(shè)備，其特征在于，所述制動(dòng)裝置包括設(shè)置在所述傳送通道出口處下方的下動(dòng)力阻風(fēng)板以及設(shè)置在所述傳送通道出口處上方的上動(dòng)力阻風(fēng)板，所述下動(dòng)力阻風(fēng)板用于提供流向?yàn)樗龌宓膫魉头较虻姆聪蚯移蛏系臍饬鳎錾蟿?dòng)力阻風(fēng)板用于提供流向?yàn)樗龌宓膫魉头较虻姆聪蚯移蛳碌臍饬鳌?/p>

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳送設(shè)備，其特征在于，所述下動(dòng)力阻風(fēng)板和/或所述上動(dòng)力阻風(fēng)板提供的氣流為等離子氣流。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的傳送設(shè)備，其特征在于，還包括對(duì)位裝置，所述對(duì)位裝置用于控制所述基板的傳送方向。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳送設(shè)備，其特征在于，所述對(duì)位裝置包括設(shè)置在所述傳送通道兩側(cè)的導(dǎo)向輪。