[發(fā)明專利]一種銅基表面鍍鎳鈀金鍵合絲的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610267813.6
• 申請日: 2016-04-27
• 公開（公告）號(hào): CN105762129B
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李天祥
• 申請（專利權(quán)）人: 山東科大鼎新電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L23/49
• 分類號(hào): H01L23/49;H01L21/48;C22C9/00;C23C28/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種銅基表面鍍鎳鈀金鍵合絲的制備方法，其特征在于：包括銅為主組分的銅絲基材，具體制備銅基表面鍍鎳鈀金鍵合絲的步驟如下：

第一步：由6N銅為主組分的所述銅絲基材添加細(xì)化晶粒的微量元素，所述細(xì)化晶粒的微量元素與主組分的銅的重量百萬分比(ppm)分別如下：鑭：10～30ppm，鈰：12～30ppm，鉻：5～60ppm；經(jīng)過抽高真空氬氣保護(hù)下引法熔煉并拉伸成4N銅絲基材其直徑為0.25mm；

第二步：將上述第一步的銅絲基材的外表面使用電鍍或化學(xué)鍍或真空鍍依次鍍覆鍍鎳層(2)、鍍鈀層(3)和鍍金層(4)，經(jīng)鍍覆后的所述表面鍍鎳鈀金鍵合絲的鍍鎳層(2)厚度為0.05μm～0.1μm，鍍鈀層(3)厚度為2μm～4.0μm，鍍金層(4)厚度為0.05μm～0.1μm，然后再拉伸成直徑為15～50μm的表面鍍鎳鈀金鍵合絲。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅基表面鍍鎳鈀金鍵合絲的制備方法：其特征在于：上述方法優(yōu)選為：

第一步：由6N銅為主組分的所述銅絲基材添加細(xì)化晶粒的微量元素，所述細(xì)化晶粒的微量元素與主組分的銅的重量百萬分比(ppm)分別如下：鑭：20ppm，鈰：20ppm，鉻：30ppm，經(jīng)過拉伸成直徑為Ф0.25mm的4N銅絲基材卷繞在中轉(zhuǎn)卷軸上；

第二步：將第一步獲得的銅絲基材傳送至電鍍設(shè)備中進(jìn)行連續(xù)電鍍，在銅絲基材表面鍍覆形成厚度為0.05μm的鍍鎳層，經(jīng)過高壓清洗后進(jìn)入鍍鈀槽在銅絲基材表面鍍覆形成3μm的鍍鈀層，再經(jīng)高壓清洗后進(jìn)入鍍金槽在銅絲基材表面鍍覆形成0.05μm的鍍金層；將表面鍍鎳鈀金的銅絲基材進(jìn)行超細(xì)拉伸，獲得最終直徑為Ф15μm的表面鍍鎳鈀金鍵合絲；將所述表面鍍鎳鈀金鍵合絲進(jìn)行動(dòng)態(tài)連續(xù)退火，退火溫度為500±5℃，恒溫控制，溫區(qū)總長度700mm，退火速度1.5m/sec。