[發(fā)明專利]三角形單晶硅支撐粱結構式X射線氮化硅窗口構造及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610265059.2 | 申請日： | 2016-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN105914121B | 公開（公告）日： | 2019-05-14 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王建平 | 申請（專利權）人： | 蘇州原位芯片科技有限責任公司 |
| 主分類號： | H01J35/18 | 分類號： | H01J35/18;C23C16/34;C23F1/02;C23F1/12;G21K7/00 |
| 代理公司： | 蘇州唯亞智冠知識產權代理有限公司 32289 | 代理人： | 高玉蓉 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 三角形 單晶硅 支撐 結構式 射線 氮化 窗口 構造 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于蘇州原位芯片科技有限責任公司，未經蘇州原位芯片科技有限責任公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610265059.2/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：半導體裝置及半導體模塊
- 下一篇：一種超寬帶微波管能量耦合結構
