[發明專利]用于蝕刻或沉積室應用的長壽命的熱噴涂涂層在審
| 申請號： | 201610263658.0 | 申請日： | 2016-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN106086762A | 公開（公告）日： | 2016-11-09 |
| 發明（設計）人： | 劉金逸;拉塞爾·奧蒙德;納什·W·安德森;戴維·M·舍費爾 | 申請（專利權）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分類號： | C23C4/134 | 分類號： | C23C4/134;C23C4/11;G01N21/25 |
| 代理公司： | 上海勝康律師事務所 31263 | 代理人： | 樊英如;張靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 蝕刻 沉積 應用 壽命 噴涂 涂層 | ||
【權利要求書】：
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C4-00 熔融態覆層材料噴鍍法，例如火焰噴鍍法、等離子噴鍍法或放電噴鍍法的鍍覆
C23C4-02 .待鍍材料的預處理，例如為了在選定的表面區域鍍覆
C23C4-04 .以鍍覆材料為特征的
C23C4-12 .以噴鍍方法為特征的
C23C4-18 .后處理
C23C4-14 ..用于長形材料的鍍覆
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C4-00 熔融態覆層材料噴鍍法，例如火焰噴鍍法、等離子噴鍍法或放電噴鍍法的鍍覆
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