[發(fā)明專利]MEMS麥克風(fēng)及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610262874.3
• 申請(qǐng)日: 2016-04-26
• 公開（公告）號(hào): CN105792084B
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王琳琳;周曄;劉政諺;劉雨微;孟珍奎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 瑞聲聲學(xué)科技（深圳）有限公司
• 主分類號(hào): H04R19/04
• 分類號(hào): H04R19/04;H04R31/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，包括具有背腔的基底以及設(shè)置在所述基底上的電容系統(tǒng)，所述電容系統(tǒng)包括背板以及與所述背板相對(duì)的振膜，所述背板與所述振膜間隔設(shè)置并形成聲腔，所述振膜遠(yuǎn)離所述聲腔的一側(cè)設(shè)有應(yīng)力層，所述振膜與所述應(yīng)力層之間還設(shè)有保護(hù)層，所述應(yīng)力層朝所述基底的正投影位于所述基底上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述應(yīng)力層為壓縮應(yīng)力的氧化硅材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述應(yīng)力層為拉伸應(yīng)力的氮化硅材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述應(yīng)力層通過熱氧化法或沉積法形成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述振膜與所述應(yīng)力層之間還設(shè)有第一絕緣層，所述第一絕緣層夾設(shè)于所述保護(hù)層與所述振膜之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述背板與所述振膜之間還設(shè)有第二絕緣層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述背板開設(shè)有多個(gè)連通所述聲腔和所述背腔的聲學(xué)孔，且所述背板朝向所述聲腔的表面還設(shè)有多個(gè)用于防止所述背板與所述振膜電導(dǎo)通的絕緣凸起。

8.一種MEMS麥克風(fēng)的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：

提供基底，在所述基底上制作具有背板和振膜的電容系統(tǒng)，所述背板與所述振膜間隔設(shè)置并形成聲腔，且所述背板開設(shè)有多個(gè)貫穿的聲學(xué)孔；

在所述振膜遠(yuǎn)離所述聲腔的一側(cè)制作保護(hù)層、應(yīng)力層，所述應(yīng)力層朝所述基底的正投影位于所述基底上；

在所述振膜頂部蝕刻形成前腔，以及在所述基底底部蝕刻形成直達(dá)所述背板的背腔。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的MEMS麥克風(fēng)的制造方法，其特征在于，在提供基底，在所述基底上制作具有背板和振膜的電容系統(tǒng)，所述背板與所述振膜間隔設(shè)置并形成聲腔，且所述背板開設(shè)有多個(gè)貫穿的聲學(xué)孔的步驟中，包括以下具體步驟：

提供基底，在所述基底表面依次疊設(shè)絕緣層、背板和第二絕緣層；

對(duì)所述第二絕緣層和所述背板的中間主體區(qū)域進(jìn)行蝕刻處理，形成貫穿所述第二絕緣層的聲腔和多個(gè)貫穿所述背板的聲學(xué)孔，且所述第二絕緣層被多個(gè)所述聲學(xué)孔分隔形成多個(gè)絕緣凸起，從而形成第一晶圓；

提供保護(hù)層，在所述保護(hù)層下表面加工第一絕緣層，然后在所述第一絕緣層表面依次疊設(shè)振膜和部分第二絕緣層，從而形成第二晶圓；

將所述第二晶圓進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，并通過鍵合工藝將所述第二晶圓與所述第一晶圓合為一體。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的MEMS麥克風(fēng)的制造方法，其特征在于，在所述振膜頂部蝕刻形成前腔，以及在所述基底底部蝕刻形成直達(dá)所述背板的背腔的步驟后，還包括以下步驟：

蝕刻形成貫穿所述應(yīng)力層、保護(hù)層以及第一絕緣層的第一連接孔和貫穿所述應(yīng)力層、保護(hù)層、第一絕緣層、振膜以及第二絕緣層的第二連接孔；

在所述第一連接孔和第二連接孔內(nèi)分別蝕刻形成兩個(gè)連接盤；

對(duì)兩個(gè)所述連接盤進(jìn)行金屬化，以形成位于所述第一連接孔內(nèi)的第一電極和位于所述第二連接孔內(nèi)的第二電極。