[發明專利]微電子機械系統

在審

• 申請號: 201610262766.6
• 申請日: 2010-01-05
• 公開（公告）號: CN105679607A
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發明（設計）人: 唐敏;G·諾維羅;F·伊塔利阿
• 申請（專利權）人: 意法半導體亞太私人有限公司
• 主分類號: H01H50/00
• 分類號: H01H50/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華;張昊

1.一種微電子機械系統(MEMS)開關，包括：

襯底；

所述襯底上的輸入觸點；

所述襯底上的輸出觸點；以及

可移動結構，其被支撐在所述襯底的至少一部分上，其中所述 可移動結構包括鄰近端部、中間部分和末梢端部，所述可移動結構 被支撐在所述輸入觸點的至少一部分上，并且所述可移動結構耦接 到第一扭轉條和第二扭轉條，并且其中所述開關能夠在施加外部磁 場的時候進行致動，

其中所述磁性材料包括薄膜條帶，所述薄膜條帶包括：通往所 述第一扭轉條和所述第二扭轉條的第一部分以及從所述第一扭轉條 和所述第二扭轉條朝向所述薄膜條帶的相反端部的第二部分。

2.根據權利要求1所述的MEMS開關，其中所述可移動結構包 括從包括Fe、NiFe合金和CoFe合金的組中選擇的磁性材料。

3.根據權利要求1所述的MEMS開關，其中所述襯底是絕緣襯 底。

4.根據權利要求1所述的MEMS開關，其中所述輸入觸點和輸 出觸點中的至少一個包括從包括金、鈀、銠、釕以及它們的組合的 組中選擇的導電材料。

5.根據權利要求1所述的MEMS開關，進一步包括支撐結構， 其中，所述可移動結構處于所述支撐結構的至少一部分上。

6.根據權利要求1所述的MEMS開關，其中所述MEMS開關 電連接到所述襯底上的電路設備。

7.一種微電子機械系統(MEMS)開關，包括：

襯底；

所述襯底上的輸入電極；

所述襯底上的輸出電極；

所述襯底上的輸出觸點；

所述輸入電極上的結構；以及

所述輸入電極上的可移動結構，其中所述可移動結構包括鄰近 端部、中間部分和末梢端部，所述可移動結構通過耦接到所述可移 動結構的中間部分的第一扭轉條和第二扭轉條而被支撐在所述輸出 觸點的至少一部分上，

其中所述可移動結構包括磁性材料，所述磁性材料包括薄膜條 帶，所述薄膜條帶包括：通往所述第一扭轉條和所述第二扭轉條的 第一部分以及從所述第一扭轉條和所述第二扭轉條朝向所述薄膜條 帶的相反端部的第二部分，并且

其中所述MEMS開關能夠在施加外部磁場的時候進行致動。

8.根據權利要求7所述的MEMS開關，進一步包括所述襯底上 的絕緣膜。

9.根據權利要求7所述的MEMS開關，其中所述磁性材料包括 Fe、NiFe合金、CoFe合金。

10.根據權利要求7所述的MEMS開關，其中所述輸入電極和 輸出電極包括從包括金、鈀、銠、釕以及它們的組合的組中選擇的 導電材料。

11.根據權利要求7所述的MEMS開關，其中所述可移動支撐 結構包括多個薄膜條帶，設置為在所述薄膜條帶之間具有范圍從大 約1微米到大約50微米的間隔。

12.根據權利要求7所述的MEMS開關，其中所述可移動支撐 結構電連接到所述襯底上的電路設備。

13.根據權利要求7所述的MEMS開關，其中所述襯底選自包 括硅、玻璃、玻璃基硅和塑料的組中。

14.一種微電子機械系統(MESM)開關，包括：

襯底；

所述襯底上的絕緣層；

所述襯底上的輸入電極；

所述襯底上的輸出電極；以及

電耦接到所述輸入電極的可移動支撐結構，其中所述可移動支 撐結構耦接到第一扭轉條和第二扭轉條，并且所述可移動支撐結構 包括支撐結構以及所述支撐結構上的多個薄膜磁性條帶，所述薄膜 磁性條帶包括：通往所述第一扭轉條和所述第二扭轉條的第一部分 以及從所述第一扭轉條和所述第二扭轉條朝向所述薄膜磁性條帶的 相反端部的第二部分，以及

其中，所述可移動支撐結構能夠在施加有外部磁場的時候從第 一位置移動到第二位置，以激活所述MEMS開關。