[發(fā)明專利]一種真空紫外光源裝置

有效

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• 申請日: 2016-04-25
• 公開（公告）號: CN106469641B
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發(fā)明（設計）人: 謝英英;歐宏煒
• 申請（專利權）人: 費勉儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號: H01J63/08
• 分類號: H01J63/08;H01J63/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空紫外光源裝置，其特征在于：

包括等離子保持器、射頻電場聚焦器和密封固定裝置；

所述密封固定裝置包括真空接口；

所述射頻電場聚焦器為等離子局域場型電場聚焦器，包括射頻源、天線、內導體和外導體；所述天線第一端與所述射頻源電性連接，所述天線第二端與所述外導體電性連接；

所述等離子保持器包括光傳導部和進氣口；

所述等離子保持器至少一部分位于所述射頻電場聚焦器的能量聚焦范圍內。

2.如權利要求1所述的一種真空紫外光源裝置，其特征在于：

所述內導體包括柱狀的內電極面，所述外導體包括階梯形柱狀的外電極面，所述內電極面與所述外電極面電性連接；

所述外電極面包括上極面和下極面；所述外電極面與所述內電極面同軸；所述上極面與所述內電極面的徑向距離L₁在1～15mm之間；所述下極面與所述內電極面的徑向距離L₂大于L₁；所述上極面的截面長度H₁與下極面的截面長度H₂之和在10～150mm之間；所述天線設置于所述下極面與所述內電極面之間；所述射頻源輸入的射頻頻率在100MHz～10GHz之間。

3.如權利要求2所述的一種真空紫外光源裝置，其特征在于：所述密封固定裝置還包括固定部件；所述固定部件用于限定所述等離子保持器和所述內導體的相對位置；所述真空接口緊套在所述光傳導部外壁上。

4.如權利要求3所述的一種真空紫外光源裝置，其特征在于：所述光傳導部包括窄通道，所述窄通道內徑D₁為0.5～6mm；

所述等離子保持器位于所述能量聚焦范圍內的部分，其厚度為0.2～4mm。

5.如權利要求4所述的一種真空紫外光源裝置，其特征在于：所述固定部件為可容納所述外導體、所述內導體、所述天線及所述等離子保持器的管狀容器，所述固定部件的頂部固定所述光傳導部。

6.如權利要求1～5任一項所述的一種真空紫外光源裝置，其特征在于：所述等離子保持器還包括與所述光傳導部連接的封閉部，所述封閉部位于所述射頻電場聚焦器的能量聚焦范圍內。

7.如權利要求6所述的一種真空紫外光源裝置，其特征在于：所述封閉部呈橢球形，其短軸方向內徑D₂為2～20mm，長軸方向內徑D₃為5～30mm。

8.如權利要求7所述的一種真空紫外光源裝置，其特征在于：所述進氣口設置于所述光傳導部一側，進氣口氣壓為10^-3～10mbar，進氣口的氣體流量為0.05～20sccm。

9.如權利要求1-5任一所述的一種真空紫外光源裝置，其特征在于：所述等離子保持器貫穿所述內導體，所述進氣口設置于所述等離子保持器的尾部。

10.如權利要求9所述的一種真空紫外光源裝置，其特征在于：所述等離子保持器與所述內導體的間距為0.1～5mm，所述等離子保持器內徑為0.5～6mm，厚度為0.2～4mm。