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[發明專利]光電檢測設備和集成電路有效

專利信息
申請號: 201610259663.4 申請日: 2016-04-21
公開(公告)號: CN105910632B 公開(公告)日: 2018-10-26
發明(設計)人: 邵麗麗;何惠森;張寶玉;張艷倪 申請(專利權)人: 矽力杰半導體技術(杭州)有限公司
主分類號: G01D5/34 分類號: G01D5/34;A61B5/024
代理公司: 北京睿派知識產權代理事務所(普通合伙) 11597 代理人: 劉鋒
地址: 310012 浙江省杭州市文*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 光電 檢測 設備 集成電路
【權利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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