[發(fā)明專利]一種ALD用結(jié)構(gòu)化噴嘴有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610259120.2 | 申請日： | 2016-04-25 |
| 公開（公告）號： | CN105817352B | 公開（公告）日： | 2019-01-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 何丹農(nóng);尹桂林;金彩虹 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心有限公司 |
| 主分類號： | B05B1/06 | 分類號： | B05B1/06;B05B1/30 |
| 代理公司： | 上海東方易知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 31121 | 代理人： | 唐莉莎 |
| 地址： | 200241 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 ald 結(jié)構(gòu) 噴嘴 | ||
【權(quán)利要求書】：
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