[發明專利]高密度電容器結構及方法有效
| 申請號： | 201610258597.9 | 申請日： | 2016-04-22 |
| 公開（公告）號： | CN106067461B | 公開（公告）日： | 2019-03-22 |
| 發明（設計）人： | 李偉健;裴成文;王平川 | 申請（專利權）人： | 格羅方德半導體公司 |
| 主分類號： | H01L23/64 | 分類號： | H01L23/64;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京戈程知識產權代理有限公司 11314 | 代理人： | 程偉;王錦陽 |
| 地址： | 英屬開曼群*** | 國省代碼： | 開曼群島;KY |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 高密度 電容器 結構 方法 | ||
【權利要求書】：
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