[發(fā)明專利]基于石英基底共面波導(dǎo)的石墨烯射頻機(jī)械開關(guān)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610258449.7
• 申請(qǐng)日: 2016-04-22
• 公開（公告）號(hào): CN105845513B
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): H01H59/00
• 分類號(hào): H01H59/00
• 代理公司: 深圳市鼎言知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司44311
• 代理人: 王賽

1.基于石英基底共面波導(dǎo)的石墨烯射頻機(jī)械開關(guān)，其特征在于，所述石墨烯射頻開關(guān)含有從上到下連接在一起的石墨烯(2-4)、氮化硼(2-5)、共面波導(dǎo)信號(hào)傳輸線(2-1)，共面波導(dǎo)地線(2-2)，石英基底(2-3)；所述共面波導(dǎo)信號(hào)傳輸線(2-1)與位于兩邊的兩條共面波導(dǎo)地線(2-2)，互相平行；所述石墨烯(2-4)位于氮化硼(2-5)上方；所述石墨烯(2-4)和氮化硼(2-5)組成復(fù)合梁結(jié)構(gòu)，所述復(fù)合梁兩端分別與兩條共面波導(dǎo)地線(2-2)接觸，中間部分懸空；所述共面波導(dǎo)信號(hào)傳輸線(2-1)位于所述復(fù)合梁結(jié)構(gòu)懸空部分正下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯射頻機(jī)械開關(guān)，其特征在于，所述石墨烯(2-4)為1-10層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯射頻機(jī)械開關(guān)，其特征在于，所述氮化硼(2-5)為1-10層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯射頻機(jī)械開關(guān)，其特征在于，在所述石英基底共面波導(dǎo)上并排布置多個(gè)相同的石墨烯和氮化硼復(fù)合梁結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯射頻機(jī)械開關(guān)，其特征在于，在所述石墨烯(2-4)和氮化硼(2-5)組成復(fù)合梁結(jié)構(gòu)的中間懸空部分中，石墨烯與氮化硼的形狀、面積相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯射頻機(jī)械開關(guān)，其特征在于，所述共面波導(dǎo)通過濺射、或蒸鍍或其它方法形成于石英基底上表面，其中金屬材料選用Au、Ag、Cu、Al、Pt中的任意一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨烯射頻機(jī)械開關(guān)，其特征在于，所述石英基底厚度為100-300微米，所述石英基底表面除共面波導(dǎo)以外的區(qū)域整體向下凹陷0.1-0.5微米。