[發(fā)明專利]提高離子注入系統(tǒng)中磁掃描離子束一致性的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610257320.4 | 申請(qǐng)日： | 2012-12-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105869978B | 公開（公告）日： | 2018-10-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 愛德華·艾伊斯勒;伯·范德伯格 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/244 | 分類號(hào)： | H01J37/244;H01J37/304;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 美國馬薩諸*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 生產(chǎn)率 一致性 提高 離子 注入 系統(tǒng) 方法 | ||
【說明書】：
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