[發(fā)明專利]傳輸矯正機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610255587.X
• 申請日: 2016-04-22
• 公開（公告）號: CN107303991B
• 公開（公告）日: 2023-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊勇;陳守俊;洪俊華;張勁
• 申請（專利權(quán)）人: 上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號: B65G21/20
• 分類號: B65G21/20
• 代理公司: 上海弼興律師事務(wù)所 31283
• 代理人: 薛琦;王聰

本發(fā)明提供一種傳輸矯正機(jī)構(gòu)，包括至少一個矯正裝置，每個矯正裝置包括相互正對、且分別置于工件傳輸裝置的傳輸路徑兩側(cè)的兩個轉(zhuǎn)輪，兩個轉(zhuǎn)輪可繞同一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，每個轉(zhuǎn)輪被設(shè)置為：工件與一側(cè)轉(zhuǎn)輪接觸后，在傳輸方向上，該轉(zhuǎn)輪對工件的作用力小于該工件傳輸裝置對工件的摩擦力，在平行于該轉(zhuǎn)軸的方向上，該轉(zhuǎn)輪對工件的作用力大于該工件傳輸裝置對工件的摩擦力，以使得工件被限制于每對矯正裝置的兩個轉(zhuǎn)輪之間。通過反復(fù)試驗可知，該傳輸矯正裝置的矯正能力較強(qiáng)，無論是整體偏離傳輸路徑的工件，還是邊長和傳輸路徑呈一定夾角的工件，都能夠在該傳輸矯正裝置的作用下對齊傳輸路徑并被限制于傳輸路徑的理想位置上。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種矯正機(jī)構(gòu)，特別涉及一種硅片的傳輸矯正機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

在加工過程中，硅片將在流水線上的各個工藝腔之間被傳輸、加工后再被送回工件盒(例如晶片盒，cassette)。一般來說，工件盒設(shè)有多個用于承載硅片的插槽，插槽的寬度略寬于硅片的寬度，例如對于156mm的硅片來說，工件盒的插槽寬度在158mm。為了提高加工的整體效率，并且防止硅片在加工完成之后在插入工件盒的過程中發(fā)生碎片或者傳輸卡片，需要在工件盒的上游、接近工件盒的位置處設(shè)置硅片矯正機(jī)構(gòu)，使得硅片被對準(zhǔn)于工件盒的卡槽，從而順利將硅片插入卡槽中。

幾種比較常見的硅片矯正機(jī)構(gòu)有：

1、參考圖1和圖2，在工件盒1的側(cè)壁上卡接導(dǎo)向裝置2，導(dǎo)向裝置2具有斜面，兩個導(dǎo)向裝置分別卡接于工件盒的兩個側(cè)壁上，兩個導(dǎo)向裝置的遠(yuǎn)離工件盒入口的端部之間的距離大于兩個導(dǎo)向裝置的接近工件盒入口的端部之間的距離。由此，卡接有導(dǎo)向裝置的工件盒的入口可以視作“漏斗狀”，即使硅片有些1mm～2mm的偏移，也會在與導(dǎo)向裝置接觸后在導(dǎo)向裝置斜面的作用下被矯正，由此順利插入工件盒的插槽中。這種導(dǎo)向裝置結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，但是也存在一定的缺陷。因為硅片較薄且具有一定的硬度，由此硅片難以避免地會在導(dǎo)向裝置的斜面上留下刮痕，而經(jīng)過一段時間的使用后，斜面上會在硅片經(jīng)常刮擦的位置處形成刮槽，硅片會更容易被嵌入該刮槽中造成碎片，這樣一來導(dǎo)向裝置反而起不到硅片導(dǎo)向的作用了。再者，這種導(dǎo)向裝置的矯正具有單向性，圖1和圖2中所示的情況中，只有進(jìn)入工件盒的硅片可以被矯正，如若想要矯正從工件盒中被取出的硅片，使其能夠整齊地被傳輸，這樣的導(dǎo)向裝置就無能為力了。

2、參考圖3，為另一種硅片的矯正機(jī)構(gòu)，該矯正機(jī)構(gòu)為分別位于硅片傳輸路徑兩側(cè)的兩個皮帶系統(tǒng)，皮帶3由滾筒4帶動，硅片5則在紙面平面內(nèi)被傳輸，當(dāng)硅片的位置有所偏離時，在兩側(cè)皮帶3的作用下會被矯正(例如沿著箭頭方向被矯正)，從而被限制在兩側(cè)皮帶之間的傳輸路徑上。這種矯正機(jī)構(gòu)的缺陷在于：硅片初次與皮帶接觸時，皮帶對硅片的力并不一定是向著皮帶之間的傳輸路徑的，在實際操作中發(fā)現(xiàn)，有一定的幾率硅片會被引導(dǎo)至其他方向而非被限制于兩側(cè)皮帶之間。

3、參考圖4和圖5，示出了另一種硅片的矯正機(jī)構(gòu)，其依然分為分別位于硅片傳輸路徑兩側(cè)的相互對稱的左右兩部分，每部分包括一擋板6和驅(qū)動該擋板6的推桿7，一般來說會設(shè)置傳感器監(jiān)測是否有硅片進(jìn)入矯正機(jī)構(gòu)的作用范圍之內(nèi)，若有，推桿7延箭頭方向推動擋板6，在兩塊擋板的作用下硅片5的位置會被調(diào)整。這種機(jī)構(gòu)的缺陷在于容易造成碎片，在擋板沖擊力較大的情況下還會造成硅片傳輸?shù)淖铚?/p>

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中硅片矯正機(jī)構(gòu)矯正效果差、容易造成碎片的缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、矯正能力較強(qiáng)的傳輸矯正機(jī)構(gòu)。

本發(fā)明是通過下述技術(shù)方案來解決上述技術(shù)問題：

一種傳輸矯正機(jī)構(gòu)，其包括一用于傳輸工件的工件傳輸裝置，其特點在于，該工件傳輸裝置用于將待加工的工件自工件盒中取出以傳輸至加工工位，以及將完成加工的工件從加工工位傳輸至工件盒中，

該傳輸矯正機(jī)構(gòu)還包括至少一個矯正裝置，每個矯正裝置包括相互正對、且分別置于工件傳輸裝置的傳輸路徑兩側(cè)的兩個轉(zhuǎn)輪，對于每個矯正裝置來說，兩個轉(zhuǎn)輪可繞同一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，該轉(zhuǎn)軸的長度方向平行于工件的傳輸平面且垂直于該傳輸路徑，