[發明專利]玻璃晶圓激光標識的制作方法在審
| 申請號： | 201610253578.7 | 申請日： | 2016-04-22 |
| 公開（公告）號： | CN105710538A | 公開（公告）日： | 2016-06-29 |
| 發明（設計）人： | 任霄峰;董磊;范蘭蘭;徐永青 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第十三研究所 |
| 主分類號： | B23K26/362 | 分類號： | B23K26/362;B23K26/60 |
| 代理公司： | 石家莊國為知識產權事務所 13120 | 代理人： | 王占華 |
| 地址： | 050051 *** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 玻璃 激光 標識 制作方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種玻璃晶圓激光標識的制作方法，其特征在于所述方法包括如下步驟：
1）將玻璃晶圓（1）放置于硅材料（2）的表面并緊密貼合在一起，使玻璃晶圓（1）上待打標位置位于硅材料（2）之上；
2）激光束按照設定的參數透過玻璃晶圓（1）照射在玻璃晶圓（1）與硅材料（2）的界面處，界面處的硅材料在激光束的作用下發生燒蝕及升華，升華后的硅材料在與硅材料貼合的玻璃晶圓（1）上形成激光標識（3），形成的激光標識（3）與參數設定的標識成鏡像關系。
2.如權利要求1所述的玻璃晶圓激光標識的制作方法，其特征在于：所述玻璃晶圓（1）的厚度為0.15mm-10mm。
3.如權利要求1所述的玻璃晶圓激光標識的制作方法，其特征在于：所述硅材料（2）與玻璃晶圓（1）的接觸面為剖光面或非剖光面。
4.如權利要求1所述的玻璃晶圓激光標識的制作方法，其特征在于：所述激光束為光纖激光束、固體激光束、氣體激光束或準分子激光束。
5.如權利要求1所述的玻璃晶圓激光標識的制作方法，其特征在于：所述硅材料（2）水平設置。
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